东莞无尘车间的清洗事项介绍

东莞无尘车间的清洗事项介绍

　　（一）、RCA Method
　　1、DI Water 5min，有明显粘污时用无尘布和酒精擦拭。
　　2、H2SO4:H2O2=3:1煮30min，去金属、有机、油。
　　3、DI Water 5min。
　　4、BOE 2 min，去自然氧化层(Native Oxide)。
　　5、DI Water 5min。
　　6、Spin Dry。
　　（二）、清洗事项：
　　1、有水则先倒水，H2O2最后倒，数字比为体积比。
　　2、有机与酸碱绝对不可混合，操作平台也务必分开使用。
　　3、酸碱溶液等冷却后倒入回收槽，并以DI Water冲玻璃杯5 min。
　　4、酸碱空瓶以水清洗后，并依塑料瓶、玻璃瓶分开置于室外回收筒。
　　5、氢氟酸会腐蚀骨头，若碰到立即用葡萄酸钙加水涂抹，再用清水冲洗干净，并就医。碰到其它酸碱则立即以DI Water大量冲洗。
　　6、清洗后之Wafer尽量放在DI Water中避免污染。
　　7、去除正光阻步骤为丙酮DI Water。
　　8、每个玻璃杯或槽都有特定要装的溶液+蚀刻、清洗、电镀、有机绝不能混合。
　　9、废液回收分酸、碱、氢氟酸、有机四种，分开回收并记录，倾倒前先检查废弃物兼容性表，确定无误再倾倒。
　　在东莞无尘车间工作的作业人员都必须掌握近几期的操作知识及注意事项，这些也是有资格进入东莞无尘车间工作的最基本常识，企业考核的标准内容。