对万级无尘车间的检测验收需严格遵循 GB 50073-2013《洁净厂房设计规范》 和 ISO 14644-1 洁净度等级标准,覆盖洁净度、压差、温湿度、气流组织、微生物、电气与安全六大核心维度,需由具备资质的第三方检测机构或专业团队执行,具体流程与要点如下:

一、 验收前准备工作
资料核查
先核对施工与设计资料的一致性,包括:洁净车间的平面布局图、净化系统流程图、设备清单、材料合格证明、高效过滤器(HEPA)检测报告、隐蔽工程验收记录等。
系统预运行
开启净化空调、FFU(风机过滤单元)等核心设备,连续稳定运行≥24 小时,使车间内各项参数趋于稳定;期间检查设备运转是否正常,有无异响、漏风等问题。
清洁准备
对车间进行全面精清洁:用无尘抹布擦拭围护结构表面,用专用吸尘器清理地面、风口死角,关闭门窗保持密闭状态,避免外界污染渗入。
二、 核心检测项目与方法
1. 洁净度检测(核心指标)
检测目标是验证车间内 ≥0.5μm 和 ≥5μm 粒径的微粒数是否符合万级标准(ISO 14644-1 Grade 7)。
检测工具:激光粒子计数器
布点原则:按车间面积划分采样点,每 20~30㎡ 设 1 个采样点,采样点需均匀分布在洁净区(含关键操作区),避开送风口正下方和回风口附近;采样高度为离地 0.8~1.5m(操作面高度)。
检测方法:每个采样点连续采样 3 次,每次采样量≥1m³;计算平均值,需满足 ≥0.5μm 微粒≤352000 个 /m³、≥5μm 微粒≤2930 个 /m³。
注意:检测时人员需穿洁净服,尽量减少活动,避免产生额外微粒。
2. 静压差检测
验证洁净区与非洁净区、不同功能区间的压差是否满足防污染要求。
检测工具:微压差计
检测点:洁净区与非洁净区的隔墙、人货通道门两侧;不同洁净等级区间(如有)。
判定标准:洁净区对非洁净区压差 ≥10Pa;不同等级洁净区间压差 ≥5Pa;需保证气流从高洁净区流向低洁净区。
3. 温湿度与换气次数检测
温湿度检测
工具:温湿度计;布点:均匀布置在车间各区域,每 50㎡设 1 个点;判定标准:温度 20~26℃,相对湿度 45%~65%(可按工艺需求调整)。
换气次数检测
适用乱流型车间;方法:通过风量罩测量送风口和回风口的风量,计算总送风量,再除以车间体积;判定标准:乱流型 ≥25 次 /h,层流型 ≥300 次 /h。
4. 气流组织检测
验证气流流向是否合理,避免出现涡流或死角。
检测方法:发烟测试(用烟雾发生器),观察烟雾在车间内的流动轨迹;乱流型要求气流无明显死角,层流型要求气流呈均匀单向流动。
5. 微生物检测(医药 / 食品车间必做)
检测沉降菌和浮游菌含量,其他行业(如电子)无需检测。
沉降菌检测:用培养皿(直径 90mm)在操作面高度放置,暴露 0.5 小时后培养,判定标准:≤10 个 / 皿。
浮游菌检测:用浮游菌采样器采集 1m³ 空气,培养后计数,判定标准:≤50 个 /m³。
6. 电气与安全检测
检测照度:用照度计测量,一般区域≥300lx,精密操作区≥500lx;
检测防静电接地:电子车间接地电阻需≤1Ω;
检查应急照明、消防设施(灭火器、烟感报警器)是否完好有效。
三、 综合验收与整改
数据汇总:整理所有检测数据,出具检测报告,对比国标和设计要求,判断是否达标。
缺陷整改:对不达标的项目(如压差不足、洁净度超标)进行整改,常见整改措施包括:更换堵塞的过滤器、调整风机风量、补做围护结构密封等。
复检与验收:整改完成后再次检测,直至所有指标达标;最终由甲方、施工方、第三方检测机构共同签署验收报告,完成交付。
四、 验收后注意事项
验收后需制定日常运维规程,定期清洁和更换过滤器;
每季度进行一次洁净度巡检,每年进行一次全面性能复测。