东莞无尘车间是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除。

​

空气三级过滤：**初效 → 中效 → HEPA 高效过滤器（FFU 风机过滤单元）**
HEPA 高效滤网，对 0.3μm 颗粒拦截效率≥99.97%；更高等级用 ULPA 超高效滤网。
1. **气流组织**
   - 单向流（层流，百级 ISO5）：FFU 满布吊顶，洁净空气垂直向下像空气活塞，灰尘直接压入地板回风，芯片光刻核心区用。
   - 乱流（非单向流，万级 / 十万级 ISO7/8）：靠大量洁净空气不断稀释室内粉尘，成本更低，电子装配最常用。
2. **压差控制（核心）**
洁净车间**正压**，室内压力＞走廊 / 外面（一般≥5Pa），开门时空气向外流，脏空气不会渗进来；有毒、粉尘、化学品房间做成负压，防止污染物外泄。
3. **人员 / 物料除尘**：风淋室、货淋室、传递窗，进入前吹除附着灰尘；人员穿戴无尘服、无尘帽、口罩、无尘手套。
4. **围护结构**：彩钢板隔墙、环氧 / 防静电 PVC 地板，表面光滑、不产尘、无缝、不容易积灰。