一、生产设备之选择、布置与保养：
　　1、要选用发尘性较少的生产设备及相关设备，尤其须注意活动部分之发尘。
　　2、应选择尘埃之影响较小的生产设备或接口设备。
　　3、生产用之水、气体、药品等往往是造成污染的原因，故应配备过滤装置。
　　4、规划各设备之配置空间时，事先宜考虑不易积累微尘之结构，规划各并以容易清洁为原则。
　　5、真空泵等容易产生污染物的这类设备，应设置在万级净化车间安装外面或回风区，并加装排气管线 排气。
　　6、设置给水管线、气体管线和电气系统时，其构造须考虑到容易清洁，不易积累污染物。
　　7、生产及相关设备应定期清扫，以避免微尘之堆积。
　　8、应加强注意室内的温湿度控制，避免因湿度之不当造成结露生锈。
　　9、当设备维修时易产生微尘粒子，故维修时尽量于清洁室外进行，并加隔离栅隔离。
　　10、对于施工或维修之厂商，应告知进出万级净化车间安装之各项规定，且负责工程师应随侍在侧监工。
　　11、应有万级净化车间安装专用工具组，但不得带出万级净化车间安装外使用。
　　12、规划空间时若能临近万级净化车间安装设立一间维修和设备保养手册置放室，将是一理想之规划。
　　生产设备之防尘措施：
　　1、磨损、切削均为发生微尘之原因，故需将发尘部分掩盖之。
　　2、易产生尘埃之设备，若能的话应布置于风尾地点。
　　3、在操作时，尽量减少接触零件或产品。
　　4、不得有太大或不必要的操作动作，以免卷起附近之灰尘。
　　5、各项厂务设施之供应如水、气体和化学品于进入生产设备前应有过滤设备。
　　6、为不使气体或液体滞留，造成微污染，故管路配置应有旁路阀之设置。